美國前官員主張,若只限制新設備出口,可能還不足以限制中國晶片製造能力:中國晶圓廠已經累積一定數量的浸潤式深紫外光(DUV)微影設備,而已安裝的設備仍需要維修與支援。他們因此呼籲,同時禁止向中國銷售這類設備,並停止維修既有機台。這項主張的一個重要依據,是估計中國晶圓廠截至 2026 年初已取得 343 台浸潤式 DUV 系統、價值數十億美元;但這是估算,不是經公開查證的設備清冊。
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沒有 EUV,不代表做不出部分先進晶片
極紫外光(EUV)微影設備用於最先進的晶片製程,中國目前無法取得這類設備。不過,這不代表中國完全無法製造部分先進晶片:透過 DUV 設備反覆進行多重圖形化,仍可製造 7 奈米級邏輯晶片。相關報告指出,中國晶片製造商曾在沒有 EUV 設備的情況下,以 DUV 製程生產 7 奈米級晶片。
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主張禁令的一方擔心,中國已累積的浸潤式 DUV 設備,能支撐更多先進晶片製造,包括與人工智慧(AI)相關的晶片。因此,設備庫存估算是他們論證中的關鍵:如果既有機台仍能持續運作,單靠停止新增採購,未必能迅速壓低產能。
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禁止維修,與限制新機出口有何不同?
荷蘭目前的出口管制要求,部分較先進的微影設備須取得出口許可。美國前官員提出的做法則更廣:不只限制浸潤式 DUV 設備銷往中國,也要阻止維修已在中國使用的機台。換言之,限制範圍可能不再只針對特定出貨,或個別被列名的企業,而是擴及中國境內的設備銷售與維修服務。
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維修之所以重要,是因為禁售新機只會影響未來交付,未必能讓既有設備立即停擺。據一則報導,中國兩家主要記憶體晶片製造商囤積的設備,足以支應三年的既定擴產計畫。不過,這項報導談的是這兩家公司的規劃,不能據此推論所有中國晶圓廠在沒有新設備或維修服務時,都能運作同樣長的時間。
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MATCH 法案是提案,不是已生效的全面禁令
MATCH 法案是另一條擴大管制的立法途徑,目標包括擴大限制,並讓美國與荷蘭、日本等盟友的規則一致。路透報導指出,經縮減後的法案版本仍納入全中國範圍的 ASML 浸潤式 DUV 設備限制。不過,這項法案仍是提案,並非已經生效的全面禁令。
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如果盟友不願配合,美國可能尋求運用出口管制規則,包括擴大「外國直接產品規則」(Foreign Direct Product Rule),管制含有美國技術的設備。不過,這是報導所述的可能執行途徑,並不代表美國可以不經荷蘭同意,就自動對荷蘭供應商實施全面維修禁令。
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對 ASML 與中國產能的影響仍難估算
禁令可能影響 ASML 在中國的業務,但目前提供的銷售數字,無法單獨說明維修限制會對公司營收或中國晶片產量造成多大影響。據報導,中國市場占 ASML 2026 年第一季淨系統銷售額的 19%,第二季則為 14%。
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中國也在研發本土浸潤式微影設備。現有報導提到相關進展,但本土設備的發展速度與競爭力仍未明朗。
18 這項不確定性有兩面:國產設備未來可能降低限制的影響;另一方面,近期禁令仍可能限制中國取得進口機台與相關支援。
支持禁令的核心理由是:如果設備庫存估算接近實況,而且維修能讓既有機台維持效用,只限制新設備銷售,可能仍會留下相當數量的運作中機台。但 343 台是估算而非確認清單,MATCH 法案也尚未成為法律;中國替代設備的進展,以及 ASML 的銷售占比,都不足以單獨判定全面禁令會在多快的時間內改變中國晶片產能。