上海國企Aishengna已開始浸沒式DUV光刻機嘅「有限量產」,目標28nm製程,多重曝光可延伸至7nm,但2026年僅生產約5台,2027年約20台 ASML股價喺消息公布後短暫受壓,但分析師認為中國工具性能同可靠性仍大幅落後,ASML嘅EUV壟斷地位同全球服務網絡短期內無可取代 ASML嘅中國收入佔比已從2025年嘅33%下降至2026年預計嘅20%,中國本土突破只係輕微增加下行壓力

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一間鮮為人知嘅上海國企——路透社確認係Aishengna——已經開始所謂嘅「有限量產」國產浸沒式DUV光刻機,係首次有中國公司實現量產。呢個里程碑係真嘅,但產能好有限:2026年約5台,2027年約20台,首批交付目標係中芯國際(SMIC)、華虹半導體同長鑫存儲
。呢套系統單次曝光可達28nm,透過多重曝光技術可延伸至11nm-7nm
。
不過,同ASML嘅性能差距仍然好大。路透社同多位分析師強調,中國工具「喺性能同可靠性上仍然落後」,需要進一步測試先可以有意義咁量產。部分關鍵零件仍然依賴日本供應
。呢啲工具喺產能、可靠性同良率方面落後ASML嘅同級產品好幾年
。
美國芯片設備股喺2026年7月27日至28日嘅報道出街後下跌。不過,分析師認為嗰次下跌只係短期反應,唔係結構性嘅重新估值。原因好簡單:ASML嘅競爭護城河——包括佢嘅EUV壟斷、NXT:1980/2050系列性能同全球服務網絡——喺可預見嘅未來仍然完整
。5至20台嘅產量同ASML每年數百台DUV同EUV系統嘅產能相比,微不足道。
中國喺2025年係ASML最大嘅單一市場,佔總銷售額嘅33%。但呢個數字係因為預期限制措施前嘅提前拉貨而膨脹咗
。ASML財務總監Roger Dassen預計,2026年中國將佔約20%嘅淨銷售額
。喺2026年第一季,中國嘅份額已經從2025年第四季嘅36%下跌到19%
。中國本土DUV突破只係輕微增加咗一個本來已經因為出口管制而急劇下跌嘅趨勢。
《硬件技術控制多邊協調法案》(MATCH Act)由美國跨黨派議員喺2026年4月2日提出。佢目標係禁止向中國芯片製造商出口同維修所有浸沒式DUV光刻系統,堵截咗仍然容許中國晶圓廠購買ASML舊款浸沒式工具嘅漏洞
。法案喺4月中被縮減,但保留咗核心嘅DUV浸沒式禁令
。法案已通過眾議院外交事務委員會嘅審議
。法案包含一個機制,要求荷蘭同日本喺150日內跟進,否則美國會單方面執行限制
。
關鍵係,MATCH法案針對ASML喺中國剩餘嘅浸沒式DUV銷售同服務,無論中國有冇自己嘅工具——美國嘅理由係要拒絕中國晶圓廠獲得優質外國設備,即使中國本土替代品出現都唔例外。呢個形成雙重壓力:中國芯片製造商失去咗ASML好得多嘅機器,同時自己嘅工具仍然未成熟。
呢單新聞引發咗美國上市嘅半導體設備股嘅板塊式拋售。主要影響:
呢個係中國追求光刻機自給自足嘅旅程中,最重要嘅公開里程碑,但「有限量產」同ASML級別嘅商業可行性之間嘅差距仍然好大。對ASML嚟講,短期嘅逆風更多來自MATCH法案(針對佢喺中國剩餘嘅DUV銷售),多過一個初生嘅本土競爭者。2026年嘅20%中國收入佔比本來就已經因為出口管制受壓;本土突破只係輕微增加咗一個額外嘅陰霾。更廣泛嘅芯片設備板塊亦都受到情緒打擊,但結構性威脅仍然要等幾年,除非中國能夠快速提升良率同可靠性。
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上海國企Aishengna已開始浸沒式DUV光刻機嘅「有限量產」,目標28nm製程,多重曝光可延伸至7nm,但2026年僅生產約5台,2027年約20台
上海國企Aishengna已開始浸沒式DUV光刻機嘅「有限量產」,目標28nm製程,多重曝光可延伸至7nm,但2026年僅生產約5台,2027年約20台 ASML股價喺消息公布後短暫受壓,但分析師認為中國工具性能同可靠性仍大幅落後,ASML嘅EUV壟斷地位同全球服務網絡短期內無可取代
ASML嘅中國收入佔比已從2025年嘅33%下降至2026年預計嘅20%,中國本土突破只係輕微增加下行壓力