前美国官员呼吁全面禁止向中国销售浸没式深紫外(DUV)光刻设备,并停止为已交付设备提供维修服务。他们认为,若只限制新设备出口,中国晶圆厂仍可依靠现有机器继续扩产,而维修支持也能让这些设备持续运转。
这项主张的紧迫性,部分来自一项库存估算:截至2026年初,中国企业拥有的晶圆厂据称已获得343台浸没式DUV系统,价值数十亿美元。需要注意,这个数字是估算,并非经公开核实的完整清单。
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为什么浸没式DUV仍然重要
EUV(极紫外)光刻用于制造最先进的芯片,而中国目前无法获得EUV设备。但这不等于中国无法生产任何先进芯片:通过DUV设备配合多重图形化等工艺,厂商仍能制造7纳米级逻辑芯片。一份有关光刻技术的报告称,中国芯片制造商已在没有EUV设备的情况下,利用DUV生产这一制程级别的芯片。
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因此,前官员担心的重点不只是还能不能买到新设备,也包括已经装机的浸没式DUV系统能否支撑更多先进芯片生产,其中包括与人工智能相关的芯片。若现有设备仍可持续使用,仅叫停后续采购,短期内未必能明显限制产能。
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全面限制比现行规则多了什么
荷兰现行出口管制要求部分先进光刻设备取得出口许可。前官员提出的方案则更进一步:不仅限制浸没式DUV设备在中国的销售,还要停止为已经投入使用的设备提供服务。如此一来,限制范围将不止于特定货运或个别被列名的企业。
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维修服务之所以重要,是因为禁售主要影响未来交付。针对中国两家主要存储芯片企业的一篇报道指出,它们囤积的设备可支撑未来三年的既定扩产计划。不过,这项报道说的是这两家公司的计划,不能据此推断所有中国晶圆厂在缺少新设备或维修服务后都能运行多久。
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MATCH法案能做什么,又有哪些边界
拟议中的《MATCH法案》是扩大限制、推动美国与荷兰、日本等盟友规则协调的另一条立法路径。路透社报道称,即使经过缩减,法案版本仍包括针对ASML浸没式DUV设备的全国性限制。但这仍是待审议的提案,并非已经生效的全面禁令。
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关于盟友若不配合会怎样,有报道提到,华盛顿可能尝试运用美国出口管制规则,包括扩大“外国直接产品规则”,将限制延伸至含有美国技术的设备。
9但这属于一种拟议中的执行手段,并不能证明美国无需荷兰配合,就能自动对一家荷兰供应商实施全面维修禁令。
对ASML和中国芯片产能的影响仍不确定
全面限制可能影响ASML在中国的业务,但现有销售数据并不能说明维修禁令会给公司或中国芯片产出带来多大影响。报道显示,2026年第一季度中国占ASML净系统销售额的19%,第二季度为14%。
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中国也在研发国产浸没式光刻设备。现有报道提到相关进展,但国产替代的推进速度和竞争力仍不明朗。
18这让政策效果存在两面性:国产设备未来可能削弱限制的影响;但在短期内,禁令仍可能限制中国获取进口设备及其配套支持。
这项提议的核心逻辑是:如果库存估算大致准确,而维修服务有助于维持设备可用,那么只限制销售可能仍会留下大量在运转的机器。不过,343台只是估算,MATCH法案尚未成为法律;无论是国产替代的进度,还是ASML销售占比的变化,都不足以单独说明全面禁令会多快改变中国的芯片制造能力。