ASML đã bác bỏ hoàn toàn cáo buộc. Người phát ngôn của công ty tuyên bố ASML chưa bao giờ vận chuyển máy EUV đến Trung Quốc . Công ty cũng đã cung cấp tài liệu cho các quan chức Mỹ để minh oan, chỉ ra rằng máy EUV có kích thước tương đương một chiếc xe buýt trường học, được sản xuất với số lượng rất hạn chế, cần được bảo trì liên tục tại chỗ bởi nhân viên của ASML, và đã chịu sự kiểm soát xuất khẩu nghiêm ngặt cấm bán cho Trung Quốc . ASML cho biết họ 'thường xuyên đối thoại minh bạch và cởi mở với các nhà lãnh đạo chính phủ trên toàn thế giới' và hiểu rõ cũng như tuân thủ các quy định kiểm soát xuất khẩu của cả Mỹ và Hà Lan .
Bằng chứng cụ thể làm cơ sở cho mối lo ngại của Mỹ chưa được công bố công khai. Bloomberg News, hãng tin đầu tiên đưa ra câu chuyện này, đã đề cập đến vấn đề này dựa trên 'những người quen thuộc với vấn đề' nhưng không mô tả thông tin tình báo, hồ sơ vận chuyển hoặc bằng chứng nào khác đã thúc đẩy sự can thiệp của Lutnick . Các báo cáo công khai không đề cập đến việc xác nhận nhìn thấy hệ thống EUV tại Trung Quốc, không có lô hàng nào bị chặn, và không có nhật ký bảo trì nào cho thấy việc lắp đặt trái phép.
Tuy nhiên, bối cảnh rộng hơn có thể làm dấy lên sự nghi ngờ. Vào tháng 12 năm 2025, Reuters đưa tin rằng các nhà nghiên cứu Trung Quốc tại Thâm Quyến đã chế tạo một nguyên mẫu của máy quang khắc EUV như một phần của 'Dự án Manhattan' để cạnh tranh với phương Tây trong lĩnh vực chip AI . Một cách riêng rẽ, các nhà phân tích lưu ý rằng một số linh kiện lưỡng dụng hoặc ít bị hạn chế hơn có thể hỗ trợ phát triển EUV nội địa đã khó bị theo dõi hơn . Tuy nhiên, liệu những diễn biến này có liên quan đến cáo buộc hiện tại hay không vẫn chưa được xác nhận.
Tóm lại, Đạo luật MATCH tìm cách hệ thống hóa và mở rộng các kiểm soát xuất khẩu hiện tại của nhánh hành pháp thành luật, thu hẹp lỗ hổng DUV và gây áp lực buộc các đồng minh phải làm theo — tất cả trong bối cảnh cáo buộc EUV mới cho thấy ngay cả các lệnh cấm nghiêm ngặt nhất cũng có thể phải đối mặt với những thách thức trong thực thi.
ASML đã bác bỏ hoàn toàn cáo buộc. Người phát ngôn của công ty tuyên bố ASML chưa bao giờ vận chuyển máy EUV đến Trung Quốc . Công ty cũng đã cung cấp tài liệu cho các quan chức Mỹ để minh oan, chỉ ra rằng máy EUV có kích thước tương đương một chiếc xe buýt trường học, được sản xuất với số lượng rất hạn chế, cần được bảo trì liên tục tại chỗ bởi nhân viên của ASML, và đã chịu sự kiểm soát xuất khẩu nghiêm ngặt cấm bán cho Trung Quốc . ASML cho biết họ 'thường xuyên đối thoại minh bạch và cởi mở với các nhà lãnh đạo chính phủ trên toàn thế giới' và hiểu rõ cũng như tuân thủ các quy định kiểm soát xuất khẩu của cả Mỹ và Hà Lan .
Bằng chứng cụ thể làm cơ sở cho mối lo ngại của Mỹ chưa được công bố công khai. Bloomberg News, hãng tin đầu tiên đưa ra câu chuyện này, đã đề cập đến vấn đề này dựa trên 'những người quen thuộc với vấn đề' nhưng không mô tả thông tin tình báo, hồ sơ vận chuyển hoặc bằng chứng nào khác đã thúc đẩy sự can thiệp của Lutnick . Các báo cáo công khai không đề cập đến việc xác nhận nhìn thấy hệ thống EUV tại Trung Quốc, không có lô hàng nào bị chặn, và không có nhật ký bảo trì nào cho thấy việc lắp đặt trái phép.
Tuy nhiên, bối cảnh rộng hơn có thể làm dấy lên sự nghi ngờ. Vào tháng 12 năm 2025, Reuters đưa tin rằng các nhà nghiên cứu Trung Quốc tại Thâm Quyến đã chế tạo một nguyên mẫu của máy quang khắc EUV như một phần của 'Dự án Manhattan' để cạnh tranh với phương Tây trong lĩnh vực chip AI . Một cách riêng rẽ, các nhà phân tích lưu ý rằng một số linh kiện lưỡng dụng hoặc ít bị hạn chế hơn có thể hỗ trợ phát triển EUV nội địa đã khó bị theo dõi hơn . Tuy nhiên, liệu những diễn biến này có liên quan đến cáo buộc hiện tại hay không vẫn chưa được xác nhận.
Tóm lại, Đạo luật MATCH tìm cách hệ thống hóa và mở rộng các kiểm soát xuất khẩu hiện tại của nhánh hành pháp thành luật, thu hẹp lỗ hổng DUV và gây áp lực buộc các đồng minh phải làm theo — tất cả trong bối cảnh cáo buộc EUV mới cho thấy ngay cả các lệnh cấm nghiêm ngặt nhất cũng có thể phải đối mặt với những thách thức trong thực thi.