Китайский стартап Prinano запускает массовое производство фотонных чипов без DUV-литографии

Подход Prinano с использованием собственной установки вакуумно-прижимной наноимпринтной литографии PL-AS устроен принципиально проще. Процесс выглядит так:

• Механическое штампование: Кварцевый композитный шаблон с выгравированным наносхемным рисунком физически вдавливается в специально разработанный резистивный слой на пластине. Такой механический оттиск переносит рисунок за один шаг — по сути, как прессование грампластинки, только в нанометровом масштабе.
• Устранение главных факторов стоимости: Система PL-AS имеет значительно более простую механическую конструкцию, чем DUV-сканер. Ей не нужны ни сложный эксимерный лазер, ни сверхточная проекционная оптика, ни система вакуумного ультрафиолетового излучения .
• Долговечные расходники: Кварцевые композитные шаблоны служат гораздо дольше традиционных DUV-фотошаблонов, что со временем дополнительно снижает удельную стоимость каждой пластины .
• Особая двухслойная резистивная система: Чтобы добиться нанометровой однородности по всей поверхности 8-дюймовой пластины, Prinano разработала фирменный двухслойный импринт-резист и вакуумно-прижимной процесс. Это нововведение стало критичным для воспроизводимого формирования рисунка с разрешением, необходимым для работающих фотонных чипов .

Итог: себестоимость изготовления сжимается примерно до 10% от традиционного процесса на базе DUV . Львиная доля экономии возникает за счет радикально более низкой стоимости самого оборудования и увеличенного ресурса импринт-шаблонов.

За громкими цифрами: что это реально значит для производства чипов

Хотя показатель снижения затрат на 90% выглядит крайне эффектно, важно четко понимать границы этого прорыва. Заявление Prinano относится строго к фотонным чипам — компонентам для лидаров, оптической коммуникации и продвинутых сенсоров, а не к передовым логическим процессорам в смартфонах или ИИ-ускорителях .

Допустимые размеры элементов для фотонных чипов менее жесткие, чем стандарты суб-3-нм техпроцессов, требующих экстремальной ультрафиолетовой (EUV) литографии. NIL идеально отвечает этим требованиям, но пока не позиционируется как прямая замена EUV в самом передовом логическом производстве.

Стратегический обходной маневр в технологической холодной войне

Значение этого достижения шире, чем просто анонс одного продукта. Prinano, ставшая первой компанией после японской Canon, коммерциализировавшей полупроводниковую NIL-систему, методично выстраивает внутреннюю альтернативу западному литографическому оборудованию .

В августе 2025 года компания поставила свою первую самостоятельно разработанную установку шаговой наноимпринтной литографии серии PL-SR отечественному заказчику в нише специальных процессов. Эта система, по сообщениям, способна формировать линии шириной менее 10 нанометров и прошла научно-исследовательскую верификацию для чипов памяти, кремниевых микродисплеев и передовой упаковки .

Июньское заявление 2026 года опирается на этот фундамент и демонстрирует переход технологии от НИОКР к подтвержденному масштабируемому производству. Для китайских производителей чипов, столкнувшихся с ужесточением экспортных ограничений на DUV- и EUV-оборудование, NIL предлагает жизнеспособный путь выпуска критически важного класса микросхем полностью на отечественных станках.

У технологии есть известные компромиссы, в частности, вопросы точности сов совмещения слоёв и производительности, которые пока остаются публично неясными . Но для фотонных чипов, где предельная плотность транзисторов не является главной целью, профиль затрат и разрешающая способность NIL уже достаточны.

Продвижение Prinano сигнализирует, что мировой рынок полупроводникового оборудования — не монополия. Пока EUV-машины ASML остаются незаменимыми для самого передового «логического» производства, появление коммерчески состоятельных NIL-инструментов создаёт параллельную колею для специализированных чипов, сенсоров и оптических устройств — ту, которая способна перекроить цепочки поставок и снизить барьеры для нового поколения разработчиков микросхем.