Спин-офф ASML — компания Invisix — привлекла €20 млн, чтобы решить главную «слепую зону» в производстве чипов

По мере того как производители передовых логических чипов и чипов памяти, таких как 3D NAND, наращивают все больше слоев в сложных трехмерных структурах, отрасль столкнулась с критической проблемой видимости. Традиционные оптические инструменты контроля больше не могут «разглядеть» скрытые наноразмерные элементы, определяющие производительность чипа и выход годной продукции. Стартап Invisix, выделившийся из ASML в 2025 году, уверен, что ответ кроется в мягком рентгеновском излучении — и только что получил €20 миллионов, чтобы это доказать.

Переподписанный посевной раунд был подтвержден в начале июня 2026 года и привлек стратегически важный синдикат: Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co., а также крупного производителя полупроводников, чье имя не раскрывается . Присутствие ведущего чипмейкера в списке инвесторов (cap table) подчеркивает острую потребность индустрии в новых инструментах метрологии при переходе к техпроцессам менее 2 нм и транзисторным архитектурам Gate-All-Around (GAA), где затвор полностью окружает канал.

Кто создал Invisix

Компанию основали два физика, годами работавшие в передовых исследовательских программах ASML. Генеральный директор Кристина Портер (Christina Porter) и технический директор Ситсе ван дер Пост (Sietse van der Post), оба обладатели степени PhD, занимались НИОКР в области метрологии мягкого рентгена задолго до того, как Invisix стала независимой компанией в 2025 году . К ним присоединились ветераны программы ASML по мягкому рентгену и Роальд Догге (Roald Dogge), бывший операционный директор NTS — крупного нидерландского контрактного производителя для полупроводниковой отрасли .

Как работает технология

В основе платформы Invisix лежит источник мягкого рентгеновского излучения на базе генерации высоких гармоник (High Harmonic Generation, HHG) — техники, которая напрямую восходит к Нобелевской премии по физике 2023 года за достижения в области аттосекундной физики . Это коротковолновое, широкополосное излучение сочетается с проприетарными алгоритмами реконструкции и машинным обучением для получения неразрушающих, высокоскоростных трехмерных изображений внутренней структуры устройств .

Практическая отдача огромна: если оптические инструменты упираются в свой предел разрешения, система Invisix нацелена на измерение критических размеров, точности совмещения слоев (overlay) и профилей боковых стенок в самых труднодоступных слоях передовых логических чипов и памяти — без повреждения пластины .

Почему важна история с инкубацией

Что отличает Invisix от большинства аппаратных стартапов на посевной стадии, так это десятилетие работы, предшествовавшее основанию. Ключевая технология вынашивалась внутри ASML начиная с 2015 года. Когда Invisix отделилась, она получила от ASML лицензию на солидный пакет технологий, охватывающий годы результатов исследований, системную архитектуру и интеллектуальную собственность .

Генеральный директор Кристина Портер без обиняков обрисовала преимущество: «Производители полупроводников не могут построить то, чего не видят… Мы выходим на рынок с технологией, которая вынашивалась внутри ASML более десяти лет» . Такая родословная означает, что Invisix пытается коммерциализировать технологию, уже доказавшую свою состоятельность в одной из самых требовательных в мире сред НИОКР — необычный уровень технического снятия рисков для компании на посевной стадии .

Партнерства и дорожная карта

Invisix не разрабатывает свою платформу в изоляции. Компания наладила сотрудничество по валидации и совместной разработке с Intel и imec — двумя организациями, находящимися в эпицентре разработки полупроводниковых техпроцессов следующего поколения .

Свежий капитал будет направлен на три ближайшие цели: рост команды, ускорение создания первой отгружаемой коммерческой системы и поддержку демонстраций для заказчиков в новой чистой комнате в Эйндховене . Компания заявила, что ее первые инструменты нацелены на среды массового производства чипов, где проблемы с выходом годных на передовых техпроцессах создают значительные финансовые риски.

Для индустрии, которая участвует в гонке по созданию транзисторов GAA, сетей подачи питания с обратной стороны кристалла (backside power delivery) и стеков гибридного бондинга, возможность заглянуть внутрь чипа, не разрушая его, быстро становится безальтернативной необходимостью. Посевной раунд Invisix сигнализирует о том, что чипмейкеры и их экосистемы производителей оборудования видят то же слепое пятно — и уже финансируют новое поколение «глаз».