Spin-out ASML Invisix zdobywa 20 mln euro, by zajrzeć do wnętrza chipów nowej generacji

Jak działa ta technologia

Sercem platformy Invisix jest źródło miękkiego promieniowania rentgenowskiego oparte na generacji wysokich harmonicznych (HHG), technice, która bezpośrednio nawiązuje do przyznanej w 2023 roku Nagrody Nobla w dziedzinie fizyki za badania nad fizyką attosekundową . To krótkofalowe, szerokopasmowe oświetlenie jest połączone z autorskimi algorytmami rekonstrukcyjnymi i uczeniem maszynowym, aby generować nieniszczące obrazy 3D wewnętrznych struktur układów scalonych, przy zachowaniu wysokiej przepustowości .

Praktyczne korzyści są znaczące. Tam, gdzie narzędzia optyczne trafiają na ścianę rozdzielczości, system Invisix ma za zadanie mierzyć krytyczne wymiary, nakładanie warstw i profile ścianek bocznych w najbardziej wymagających warstwach zaawansowanych układów logicznych i pamięci – bez uszkadzania wafla krzemowego .

Dlaczego historia inkubacji ma znaczenie

Tym, co odróżnia Invisix od większości startupów sprzętowych na etapie seed, jest dekada prac, która poprzedziła jego powstanie. Kluczowa technologia była inkubowana wewnątrz ASML od 2015 roku. Kiedy Invisix się wydzielił, bezpośrednio od ASML licencjonował potężny pakiet technologii, obejmujący lata wyników badań, architekturę systemu i własność intelektualną .

Dyrektor generalna Christina Porter ujęła tę przewagę bez ogródek: „Producenci półprzewodników nie mogą zbudować czegoś, czego nie widzą. (...) Wchodzimy na rynek z technologią, która była inkubowana w ASML przez ponad dekadę” . To pochodzenie oznacza, że Invisix próbuje skomercjalizować technologię, która została już sprawdzona w jednym z najbardziej wymagających środowisk badawczo-rozwojowych na świecie – co stanowi niezwykły poziom odbezpieczenia technologicznego dla firmy na tym etapie rozwoju .

Partnerstwa i mapa drogowa komercjalizacji

Invisix nie rozwija swojej platformy samodzielnie. Firma nawiązała współprace walidacyjne i w zakresie wspólnego rozwoju z Intelem i imec, dwiema organizacjami znajdującymi się w centrum prac nad procesami produkcji półprzewodników nowej generacji .

Świeży kapitał zostanie przeznaczony na trzy bliskoterminowe cele: powiększenie zespołu, przyspieszenie prac nad pierwszym gotowym do wysyłki systemem komercyjnym oraz wsparcie demonstracji dla klientów w nowym pomieszczeniu czystym (cleanroom) w Eindhoven . Firma wskazała, że jej pierwsze narzędzia są kierowane do środowisk produkcji wielkoseryjnej (HVM), gdzie problemy z uzyskiem w zaawansowanych węzłach technologicznych generują ogromne koszty.

Dla branży, która ściga się w budowaniu tranzystorów GAA, sieci dostarczania zasilania od spodu układu (backside power delivery) i stosów łączenia hybrydowego (hybrid bonding), możliwość zajrzenia do wnętrza chipa bez niszczenia go szybko staje się nie tyle luksusem, co absolutną koniecznością. Runda seed Invisix sygnalizuje, że producenci chipów i ich ekosystem dostawców sprzętu dostrzegają tę samą ślepą plamkę – i już finansują nową generację oczu, które pozwolą im patrzeć.