ASML-spinout sikrer 20 millioner euro for å se inn i neste generasjons chip

Slik fungerer teknologien

Kjernen i Invisix’ plattform er en lyskilde for bløt røntgen som bygger på såkalt høyharmonisk generering (HHG). Teknikken har direkte bånd til Nobelprisen i fysikk i 2023, som ble tildelt for forskning innen attosekundfysikk . Denne kortbølgede, bredspektrede belysningen kombineres med proprietære rekonstruksjonsalgoritmer og maskinlæring for å produsere tredimensjonale bilder av interne enhetsstrukturer – uten å ødelegge silisiumskiven .

Den praktiske gevinsten er betydelig. Der optiske verktøy treffer en oppløsningsvegg, er målet for Invisix’ system å måle kritiske dimensjoner, lag-til-lag-nøyaktighet og sideveggprofiler inne i de mest utfordrende lagene i moderne logikk- og minnebrikker – og det raskt nok til å brukes i høyvolumproduksjon .

Derfor er forhistorien så viktig

Det som skiller Invisix fra de fleste hardware-startups i seed-fasen, er det tiåret med arbeid som fant sted før selskapet ble formelt stiftet. Kjerneteknologien ble utviklet og modnet i ly av ASML fra 2015 og fremover. Da Invisix ble skilt ut som eget selskap, lisensierte de en omfattende teknologipakke direkte fra ASML, som dekker årevis med forskningsresultater, systemarkitektur og immaterielle rettigheter .

Administrerende direktør Christina Porter beskrev fordelen slik: «Halvlederprodusenter kan ikke bygge det de ikke kan se. [...] Vi går til markedet med teknologi som har blitt foredlet inne i ASML i mer enn et tiår.» . Denne bakgrunnen betyr at Invisix prøver å kommersialisere teknologi som allerede er bevist i et av verdens mest krevende forskningsmiljøer. Det er et uvanlig høyt nivå av teknologisk risikoavlastning for et selskap på dette stadiet .

Partnere og veien videre

Invisix utvikler ikke plattformen sin i et vakuum. Selskapet har etablert samarbeid om validering og felles utvikling med Intel og imec, to organisasjoner som står i sentrum for utviklingen av neste generasjons halvlederprosesser .

De ferske midlene skal kanaliseres mot tre umiddelbare mål: å utvide teamet, akselerere utviklingen av det første kommersielle systemet klart for levering, og å gjennomføre kundedemonstrasjoner fra et nytt renromsanlegg i Eindhoven . Selskapet har indikert at de første verktøyene er rettet mot høyvolumproduksjon, der feil på avanserte noder kan gi store økonomiske konsekvenser.

For en industri som kappløper om å bygge gate-all-around transistorer, strømforsyning på baksiden av brikken og hybrid bonding-stabler, er evnen til å se inn i en brikke uten å ødelegge den i ferd med å bli uunnværlig. Invisix’ seed-runde signaliserer at både brikkeprodusenter og deres utstyrsøkosystemer ser den samme blindsonen – og allerede er i gang med å finansiere den neste generasjonens måleverktøy.