ASML-spinout sikrer 20 millioner euro for å se inn i neste generasjons chip

Etter hvert som avanserte logikk- og minnebrikker stables i stadig mer komplekse tredimensjonale strukturer, har halvlederindustrien støtt på et kritisk problem: De kan ikke lenger se det de bygger. Tradisjonelle optiske inspeksjonsverktøy blir blinde for de nedgravde strukturene på nanometerskala som avgjør en brikkes ytelse og produksjonsutbytte. Den nederlandske startupen Invisix, skilt ut fra ASML, mener svaret ligger i bløt røntgenstråling – og har nå sikret 20 millioner euro for å bevise det.

Den overtegnede seed-runden, bekreftet i begynnelsen av juni 2024, samlet en strategisk viktig investorgruppe: Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co., og en ikke-navngitt brikkeprodusent i verdenstoppen . At en stor chip-aktør sitter på eierlisten, understreker hvor intenst industrien nå jakter på nye metrologi-verktøy for fremtidens 2-nanometer noder og såkalte gate-all-around transistor-arkitekturer.

Hvem står bak Invisix

Selskapet er grunnlagt av to fysikere som tilbrakte årevis inne i ASMLs mest avanserte forskningsprogrammer. Administrerende direktør Christina Porter og teknisk direktør Sietse van der Post, begge med doktorgrad, jobbet med forskning på bløt røntgenmetrologi lenge før Invisix ble et selvstendig selskap i 2025 . De får med seg veteraner fra ASMLs eget bløtrøntgen-program og Roald Dogge, tidligere driftsdirektør i NTS, en stor nederlandsk kontraktsprodusent for halvlederindustrien .

Slik fungerer teknologien

Kjernen i Invisix’ plattform er en lyskilde for bløt røntgen som bygger på såkalt høyharmonisk generering (HHG). Teknikken har direkte bånd til Nobelprisen i fysikk i 2023, som ble tildelt for forskning innen attosekundfysikk . Denne kortbølgede, bredspektrede belysningen kombineres med proprietære rekonstruksjonsalgoritmer og maskinlæring for å produsere tredimensjonale bilder av interne enhetsstrukturer – uten å ødelegge silisiumskiven .

Den praktiske gevinsten er betydelig. Der optiske verktøy treffer en oppløsningsvegg, er målet for Invisix’ system å måle kritiske dimensjoner, lag-til-lag-nøyaktighet og sideveggprofiler inne i de mest utfordrende lagene i moderne logikk- og minnebrikker – og det raskt nok til å brukes i høyvolumproduksjon .

Derfor er forhistorien så viktig

Det som skiller Invisix fra de fleste hardware-startups i seed-fasen, er det tiåret med arbeid som fant sted før selskapet ble formelt stiftet. Kjerneteknologien ble utviklet og modnet i ly av ASML fra 2015 og fremover. Da Invisix ble skilt ut som eget selskap, lisensierte de en omfattende teknologipakke direkte fra ASML, som dekker årevis med forskningsresultater, systemarkitektur og immaterielle rettigheter .

Administrerende direktør Christina Porter beskrev fordelen slik: «Halvlederprodusenter kan ikke bygge det de ikke kan se. [...] Vi går til markedet med teknologi som har blitt foredlet inne i ASML i mer enn et tiår.» . Denne bakgrunnen betyr at Invisix prøver å kommersialisere teknologi som allerede er bevist i et av verdens mest krevende forskningsmiljøer. Det er et uvanlig høyt nivå av teknologisk risikoavlastning for et selskap på dette stadiet .

Partnere og veien videre

Invisix utvikler ikke plattformen sin i et vakuum. Selskapet har etablert samarbeid om validering og felles utvikling med Intel og imec, to organisasjoner som står i sentrum for utviklingen av neste generasjons halvlederprosesser .

De ferske midlene skal kanaliseres mot tre umiddelbare mål: å utvide teamet, akselerere utviklingen av det første kommersielle systemet klart for levering, og å gjennomføre kundedemonstrasjoner fra et nytt renromsanlegg i Eindhoven . Selskapet har indikert at de første verktøyene er rettet mot høyvolumproduksjon, der feil på avanserte noder kan gi store økonomiske konsekvenser.

For en industri som kappløper om å bygge gate-all-around transistorer, strømforsyning på baksiden av brikken og hybrid bonding-stabler, er evnen til å se inn i en brikke uten å ødelegge den i ferd med å bli uunnværlig. Invisix’ seed-runde signaliserer at både brikkeprodusenter og deres utstyrsøkosystemer ser den samme blindsonen – og allerede er i gang med å finansiere den neste generasjonens måleverktøy.