Intel har også antydet at teknologien vil bli brukt på den kommende 14A-noden .
Samsungs tidsplan har blitt betydelig forskjøvet. På NGL-konferansen i 2026 sa ChangMin Park, teknologidirektør i Samsung, at selskapet planlegger å ta High-NA EUV i bruk som primær produksjonsteknologi fra 1nm-noden (A10), rundt 2030 . Samsung hadde håpet å innføre verktøyet allerede ved 2nm og 1.4nm, men ytterligere tekniske forbedringer er nødvendige .
Til tross for den forsiktige produksjonsplanen har Samsung allerede installert to High-NA EUV-systemer – ett ved Hwaseong i 2025 og et andre i første halvår 2026 – en investering på over 1 billion koreanske won . Selskapet holder imidlertid igjen på masseproduksjon for å begrense kostnadene .
Tidligere rapporter i 2025 hadde antydet at Samsung kunne ta i bruk High-NA ved 2nm for brikker som Exynos 2600 og Teslas neste generasjons AI-brikker . De siste uttalelsene fra Samsungs ledelse motsier disse forventningene .
TSMC er den mest forsiktige av de tre. Konsernsjef C.C. Wei sa på resultatpresentasjonen for andre kvartal 2026 at selskapet ikke trenger High-NA for nodene fra 2nm (N2) via A16 til A14, og at innføringen avhenger av teknisk kapabilitet, kostnadssensitivitet hos kundene og utstyrsmodenhet .
TSMC har allerede mottatt et High-NA-system for forskning og utvikling (EXE:5000) og begynt å utvikle litografiprosesser for High-NA-skannere i 2025, men har ingen hast med å ta dem i bruk i produksjon .
ASMLs samlede inntektsutsikter er fortsatt sterke. Selskapet rapporterte 32,7 milliarder euro i totale nettoomsetning for 2025, med en rekord på 9,7 milliarder euro i fjerde kvartal 2025, og avsluttet året med en ordrebok på 38,8 milliarder euro . For 2026 har ASML et mål om over 60 Low-NA EUV-leveranser – omtrent 25 prosent mer enn i 2025 – og planlegger å øke den totale kapasiteten med 30 prosent per år i de to neste årene for å møte den voldsomme etterspørselen etter AI-brikker .
Utsettelsen av High-NA-volumordrer fra både TSMC og Samsung til slutten av 2020-tallet / 2030 betyr at High-NA vil øke langsommere enn tidligere markedsforventninger. Analytikere bemerker at TSMCs utsettelse spesielt "tynger ASMLs utsikter" for det avanserte segmentet . Hver utsatt bestilling frigjør omtrent 350–400 millioner euro for en kunde, men for ASML betyr det at de forventede milliardinntektene fra High-NA vil ta lengre tid å realisere .
ASML håndterer den langsommere High-NA-rampen ved å fokusere på neste generasjons EXE:5200B-system (første leveranse i andre kvartal 2025) og stole på Intel – og i mindre grad SK hynix for DRAM – som de ledende High-NA-kundene på kort sikt . Selskapet hadde levert totalt åtte High-NA-systemer innen tidlig 2026, ifølge pressekonferansen for fjerde kvartal 2025 .
| Selskap | Node for High-NA i produksjon | Målår | Status |
|---|---|---|---|
| Intel | Intel 18A (utvalgte lag); 14A planlagt | 2026 (18A) | Leverer nå Panther Lake-brikker |
| Samsung | 1nm (A10) | ~2030 | To verktøy installert, produksjon på vent |
| TSMC | A13/A12 eller senere | 2029 eller senere | Prosessutvikling pågår, ingen fast produksjonsplan |
Intels tidlige forsprang med High-NA EUV er reelt og målbart: selskapet er det eneste som i dag leverer en logikkbrikke i høyt volum produsert med verktøyet. Samsung og TSMC inntar en avventende holdning, der de prioriterer kostnad og utbytte fremfor å være først ute. For ASML betyr dette at High-NA-innfasingen blir gradvis snarere enn eksplosiv, men selskapets samlede virksomhet forblir solid takket være den ustoppelige etterspørselen etter modne Low-NA EUV- og DUV-verktøy drevet av AI-brikkeproduksjon.