Invisix haalt €20 miljoen op om de grootste blinde vlek van chipmakers op te lossen

Nu de chipproductie steeds verder doordringt tot onder de 2 nanometer, met architecturen als gate-all-around-transistors en backside power delivery, loopt de industrie tegen een essentieel probleem aan: de allerkleinste en meest kritieke structuren zijn onzichtbaar geworden. Traditionele optische inspectietools kunnen niet meer zien wat er zich op nanoschaal in de diepte van een chip afspeelt. De Eindhovense startup Invisix, in 2025 ontstaan als spin-off van ASML, denkt het antwoord te hebben gevonden in zachte röntgenstraling. Het bedrijf heeft nu €20 miljoen opgehaald om dat te bewijzen .

De overtekende seed-ronde werd begin juni 2026 bevestigd en trok een strategisch syndicaat aan: Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co., en een grote chipfabrikant die anoniem wenst te blijven . Dat een vooraanstaande chipmaker aan tafel zit, onderstreept hoe dringend de sector op zoek is naar nieuwe metrologietools.

Het team achter Invisix

De oprichters leerden het vak bij de bron. CEO Christina Porter en CTO Sietse van der Post, beiden gepromoveerd natuurkundige, werkten jarenlang binnen de geavanceerde R&D-programma's van ASML aan zachte röntgenmetrologie voordat ze in 2025 voor zichzelf begonnen . Het team wordt versterkt door veteranen uit het zachte-röntgenprogramma van ASML en Roald Dogge, de voormalige COO van NTS, een groot Nederlands contractmanufacturer in de semiconductorindustrie .

Zo werkt de technologie

Het kloppend hart van het Invisix-platform is een zachte röntgenlichtbron op basis van High Harmonic Generation (HHG). Deze techniek is direct verbonden met het onderzoek naar attosecondefysica waarvoor in 2023 de Nobelprijs voor Natuurkunde werd uitgereikt . De kortgolvige, breedbandige straling wordt gecombineerd met gepatenteerde reconstructie-algoritmen en machine learning om niet-destructieve, 3D-beelden met hoge doorvoersnelheid te maken van de interne structuren van een chip .

Dat levert een enorme praktische winst op. Waar optische tools vastlopen, kan het systeem van Invisix kritische dimensies, overlay-nauwkeurigheid en de profielen van zijwanden in de meest complexe lagen van geavanceerde logic- en geheugenchips meten — en dat allemaal zonder de wafer te beschadigen .

De kracht van een decennium voorsprong

Wat Invisix onderscheidt van andere hardware-startups in de seed-fase, is het decennium aan werk dat aan de oprichting voorafging. De kerntechnologie werd vanaf 2015 ontwikkeld binnen ASML. Bij de spin-out nam Invisix een substantieel technologiepakket in licentie, met daarin jaren aan onderzoeksresultaten, systeemarchitectuur en intellectueel eigendom .

CEO Christina Porter verwoordde het voordeel helder: "Halfgeleiderfabrikanten kunnen niet bouwen wat ze niet kunnen zien. (...) We betreden de markt met technologie die meer dan tien jaar lang binnen ASML is geïncubeerd" . Die stamboom betekent dat Invisix technologie probeert te commercialiseren die zich al bewezen heeft in een van de meest veeleisende R&D-omgevingen ter wereld. Voor een bedrijf in de seed-fase is dat een ongekende mate van technische derisking .

Partners en de route naar de markt

Invisix ontwikkelt het platform niet in isolatie. Het bedrijf werkt al samen met Intel en imec, twee organisaties die centraal staan in de ontwikkeling van next-generation chipproductieprocessen .

Met het verse kapitaal wordt de ingeslagen weg versneld. De focus ligt op drie doelen: het team laten groeien, de bouw van het eerste uitleverbare commerciële systeem en de start van klantdemonstraties vanuit een nieuwe cleanroomfaciliteit in Eindhoven . De eerste tools zijn bedoeld voor high-volume manufacturing-omgevingen waar yield-problemen op geavanceerde nodes tot grote financiële risico's leiden.

In een race om transistors met gate-all-around-architectuur, backside power delivery-netwerken en hybrid bonding-stacks te bouwen, wordt de mogelijkheid om in een chip te kijken zonder hem te vernietigen snel onmisbaar. De seed-ronde van Invisix is een signaal dat chipmakers en hun toeleveranciers die blinde vlek al herkennen — en volop investeren in een nieuwe generatie ogen.