반도체 업계 최대 사각지대 해결사, '인비식스' 등장

이 회사는 ASML의 첨단 연구 프로그램에서 수년간 근무한 두 명의 물리학자가 공동 창업했다. CEO 크리스티나 포터(Christina Porter)와 CTO 시츠 판 데르 포스트(Sietse van der Post)는 모두 박사 학위자로서, 인비식스가 독립 법인으로 분사하기 훨씬 전부터 ASML 내부에서 연 X선 계측 R&D 연구를 주도해왔다 . 이들 창업자와 함께 ASML 연 X선 프로그램 출신 베테랑들과 네덜란드의 주요 반도체 전문 계약 제조사인 NTS의 전 COO였던 로알드 도게(Roald Dogge)도 합류했다 .

기술의 작동 원리

인비식스 기술의 핵심은 '고차 조화파 발생(HHG; High Harmonic Generation)'에 기반한 연 X선 광원이다. 이 기술은 2023년 노벨 물리학상을 수상한 아토초 과학 연구와 맞닿아 있다 . 짧은 파장과 광대역을 가진 이 조명 기술에 자체 개발한 재구성 알고리즘과 머신러닝을 결합하여 칩의 내부 소자 구조를 높은 처리량으로 파괴하지 않고 3D 이미지화한다 .

이를 통해 얻는 실질적인 이점은 상당하다. 광학 장비가 해상도 한계에 막히는 지점에서, 인비식스의 시스템은 웨이퍼를 손상시키지 않고도 첨단 로직 및 메모리 칩에서 가장 까다로운 층의 임계 치수(CD), 오버레이(Overlay), 측벽 프로파일(sidewall profiles) 등을 측정하는 것을 목표로 한다 .

10년 전부터 준비된 스타트업, 그 의미는

일반적인 시드 단계의 하드웨어 스타트업과 인비식스를 차별화하는 가장 큰 지점은 설립에 앞서 10년에 달하는 연구 개발이 선행되었다는 사실이다. 핵심 기술은 2015년부터 ASML 내부에서 연구되기 시작했다. 인비식스가 분사할 당시 ASML로부터 수년간의 연구 결과물, 시스템 아키텍처 및 지식재산권(IP)을 아우르는 상당한 규모의 기술 패키지를 공식적으로 라이선스받았다 .

CEO 크리스티나 포터는 이러한 강점을 다음과 같이 표현했다. “반도체 제조사들은 눈에 보이지 않는 것을 만들 수 없습니다. … 우리는 ASML 내부에서 10년 이상 연구된 기술을 가지고 시장에 진출합니다” . 이는 세계에서 가장 까다로운 R&D 환경 중 하나인 ASML에서 이미 검증된 기술을 상용화한다는 의미로, 시드 단계의 기업으로서는 이례적으로 기술적 위험을 낮춘 상태라는 평가를 받는다 .

파트너십과 상용화 로드맵

인비식스는 자사의 플랫폼을 독자적으로 개발하지 않는다. 이 회사는 이미 차세대 반도체 공정 개발의 핵심 주체인 인텔(Intel) 및 imec과의 기술 검증 및 공동 개발 협력을 진행 중이다 .

이번에 확보한 자금은 팀 확장, 상용 출하가 가능한 첫 시스템 개발 가속화, 그리고 네덜란드 에인트호번에 새로 구축될 클린룸에서의 고객 시연 지원이라는 세 가지 목표에 집중적으로 투입될 예정이다 . 회사 측은 첫 번째 장비가 첨단 노드에서의 수율 문제로 막대한 재정적 위험에 노출된 대량 생산 환경을 주요 타깃으로 하고 있다고 밝혔다.

GAA 트랜지스터, 후면 전력 공급 네트워크(backside power delivery networks), 하이브리드 본딩(hybrid bonding)을 향해 질주하는 반도체 업계에서 칩을 파괴하지 않고 내부를 들여다보는 능력은 더 이상 선택이 아닌 필수가 되어가고 있다. 인비식스의 시드 투자 유치는 칩메이커와 장비 생태계 모두가 이 ‘사각지대’를 명확히 인식하고 있으며, 이 문제를 해결할 차세대 눈(eyes)을 위해 이미 투자를 시작했다는 신호로 해석된다.