वूशी के CSEAC 2026 ने चीन के सेमीकंडक्टर उपकरण क्षेत्र की ताकत और उसकी बड़ी कमियां दोनों दिखाईं

वूशी में 31 अगस्त से 2 सितंबर 2026 तक आयोजित CSEAC 2026 ने यह साफ संकेत दिया कि चीन का सेमीकंडक्टर-उपकरण उद्योग अब केवल अलग-थलग प्रोटोटाइप दिखाने के चरण में नहीं है। घरेलू कंपनियां एचिंग, डिपोजिशन और कुछ लिथोग्राफी श्रेणियों में अधिक उपयोगी और बड़े पैमाने पर तैनात होने योग्य उपकरण पेश कर रही हैं। लेकिन उन्नत लॉजिक और AI-केंद्रित मेमोरी चिपों के लिए जरूरी पूरी उपकरण-श्रृंखला अभी तैयार नहीं है। सबसे कठिन अंतर आयन इम्प्लांटेशन, निरीक्षण और मापन में है—यानी उन्हीं क्षेत्रों में जो यील्ड, स्थिरता और फैब में ग्राहक के भरोसे को तय करते हैं। 478

जहां चीन ने वास्तविक बढ़त दिखाई

AMEC का छह नए उपकरणों का अनावरण इस बदलाव का प्रमुख उदाहरण था। कंपनी, जिसे मुख्यतः एचिंग विशेषज्ञ के रूप में जाना जाता है, अब उन्नत 3D मेमोरी के लिए अल्ट्रा-हाई-एस्पेक्ट-रेशियो एचिंग, जटिल फिल्म-स्टैक के लिए PECVD और ALD/मेटल-डिपोजिशन सिस्टम, तथा सिलिकॉन-कार्बाइड (SiC) पावर सेमीकंडक्टरों के लिए उच्च-तापमान CVD एपिटैक्सी टूल तक अपना दायरा बढ़ा रही है। ये परिधीय मशीनें नहीं, बल्कि चिप निर्माण के महत्वपूर्ण और उच्च-मूल्य वाले चरणों के उपकरण हैं। 8

कंपनी का Primo XD-RIE एचर 70:1 से 90:1 तक एस्पेक्ट रेशियो का दावा करता है। 3D NAND और DRAM में परतें बढ़ने के साथ गहरे और बहुत संकरे फीचर बनाना कठिन होता जाता है; इसलिए ऐसी क्षमता रणनीतिक रूप से महत्वपूर्ण है। AMEC के PECVD और मोलिब्डेनम ALD उपकरण डाइइलेक्ट्रिक स्टैक की तेज डिपोजिशन और समान रूप से धातु भरने वाले चरणों के लिए हैं, जबकि उसका SiC HTCVD टूल बड़े-व्यास वाले पावर-सेमीकंडक्टर वेफरों की दिशा में उपयोगी हो सकता है। 8

AMEC के अनुसार, उसके 8,800 से अधिक उत्पादन रिएक्शन चैंबर लगाए जा चुके हैं और उसके 170 से अधिक ग्राहक तथा पांच क्षेत्रों में 220 से अधिक चिप व LED उत्पादन लाइनें हैं। ये कंपनी द्वारा बताए गए आंकड़े हैं, इसलिए इन्हें स्वतंत्र प्रमाणित आंकड़े नहीं माना जा सकता। फिर भी, ये संकेत देते हैं कि कुछ घरेलू प्रोसेस टूल प्रयोगशाला प्रदर्शन से आगे बढ़कर ग्राहकों के यहां दोहराए जाने वाले उत्पादन उपयोग तक पहुंच चुके हैं। इससे यह निष्कर्ष नहीं निकलता कि वे सबसे उन्नत नोड्स पर विदेशी अग्रणी उपकरणों के बराबर हैं। 8

NAURA की एचिंग, डिपोजिशन, क्लीनिंग और थर्मल प्रोसेसिंग में फैली उत्पाद-श्रृंखला भी इसी दिशा का संकेत देती है। एक ही घरेलू आपूर्तिकर्ता से कई श्रेणियों के टूल मिलना फैब के लिए निर्यात नियंत्रण के जोखिम को कम कर सकता है और घरेलू प्रक्रिया-एकीकरण को आसान बना सकता है। हालांकि, व्यापक पोर्टफोलियो का अर्थ अपने-आप सबसे कठिन लॉजिक नोड्स पर सिद्ध प्रदर्शन नहीं होता। 4

लिथोग्राफी में Shanghai Micro Electronics Equipment के KrF ड्राई और I-line सिस्टमों का कथित तौर पर 1 करोड़ से अधिक ग्राहक वेफरों पर संचयी उपयोग हुआ है। यह परिपक्व और कुछ विशेष प्रक्रियाओं में व्यावहारिक उत्पादन उपयोग का प्रमाण है, पर इससे अत्याधुनिक EUV या उन्नत लॉजिक की पूरी लिथोग्राफी श्रृंखला में घरेलू क्षमता सिद्ध नहीं होती। 4

आयन इम्प्लांटेशन अब भी कठिन क्यों है

आयन इम्प्लांटेशन में वेफर के भीतर नियंत्रित मात्रा में आयनों को डाला जाता है, ताकि सेमीकंडक्टर के विद्युत गुण बदले जा सकें। इसके लिए अलग-अलग करंट और ऊर्जा स्तरों पर अत्यंत स्थिर तथा सटीक आयन बीम चाहिए। साथ ही डोज, एकरूपता, संदूषण, वेफर चार्जिंग, थ्रूपुट और इम्प्लांटेशन से होने वाली क्षति को भी नियंत्रित करना पड़ता है। विशेष रूप से हाई-करंट और हाई-एनर्जी सिस्टम में बीम ट्रांसपोर्ट, त्वरण और प्रक्रिया नियंत्रण की मांग मीडियम-करंट मशीनों से कहीं कठिन होती है। 236

उपलब्ध उद्योग रिपोर्टों के अनुसार, घरेलू परिदृश्य अभी आरंभिक अवस्था में है। NAURA ने प्लाज्मा-इमर्शन और मीडियम-करंट सिस्टम दिखाए हैं; Jingsheng ग्राहक सत्यापन के माध्यम से सिलिकॉन मीडियम-करंट इम्प्लांटर विकसित कर रही है; और AEn Ion ने मीडियम-करंट, हाई-करंट, हाई-एनर्जी तथा विशेष उपयोग वाली मशीनों की विस्तृत श्रृंखला पेश की है। लेकिन किसी उत्पाद को प्रदर्शनी में दिखाना, ग्राहक सत्यापन पूरा करना और लगातार उच्च यील्ड के साथ बड़े पैमाने पर उत्पादन में चलना—तीन अलग स्तर हैं। 4

रिपोर्टेड आंकड़ों में आयन इम्प्लांटर का कुल घरेलू स्थानीयकरण 15% से कम, हाई-करंट/हाई-बीम सिस्टमों में 10% से कम और हाई-एनर्जी मॉडल में लगभग शून्य बताया गया है। उन्नत विदेशी सिस्टमों और कथित तौर पर उपयुक्त सेकंड-हैंड उपकरणों तक पहुंच भी निर्यात नियंत्रणों से सीमित बताई गई है। इससे फैबों को पुराने आयातित उपकरणों पर निर्भर रहना पड़ सकता है, जिसका असर यील्ड और संचालन की स्थिरता पर पड़ सकता है। ये प्रतिशत और इस्तेमाल किए गए उपकरणों वाली बात उद्योग रिपोर्टिंग पर आधारित हैं, स्वतंत्र व्यापार या सीमा-शुल्क आंकड़ों पर नहीं। 4

यह श्रेणी इसलिए भी कठिन है क्योंकि इसमें लगातार महंगा अनुसंधान एवं विकास, लंबे ग्राहक-योग्यता चक्र और शुरुआती दौर में छोटा इंस्टॉल्ड बेस चाहिए। कई घरेलू निर्माताओं के लाभ में न होने की रिपोर्ट है। यह वह क्षेत्र है जहां केवल पूंजी निवेश पर्याप्त नहीं: वर्षों में जमा हुई प्रक्रिया विशेषज्ञता और फील्ड-रिलायबिलिटी को जल्दी दोहराना मुश्किल है। 4

निरीक्षण और मापन: यील्ड का निर्णायक दरवाजा

इंस्पेक्शन और मेट्रोलॉजी उपकरण सीधे पैटर्न नहीं बनाते, न एचिंग करते हैं और न फिल्म जमा करते हैं। लेकिन वे तय करते हैं कि वेफर स्वीकार्य है या स्क्रैप, और वे नैनोमीटर-स्तरीय निर्माण प्रक्रिया को नियंत्रित करने के लिए जरूरी फीडबैक देते हैं। विश्वसनीय दोष-पहचान, ओवरले मापन, क्रिटिकल-डायमेंशन मेट्रोलॉजी और प्रोसेस-कंट्रोल डेटा के बिना कोई फैब उन्नत नोड पर नए उपकरण को भरोसे से नहीं अपना सकता। 4

रिपोर्टों के मुताबिक, चीन में फ्रंट-एंड निरीक्षण और मापन का स्थानीयकरण ऐतिहासिक रूप से 10% से कम रहा है। एक स्वतंत्र विश्लेषण भी वेफर निरीक्षण, उन्नत आयन इम्प्लांटेशन और उन्नत लॉजिक-चिप परीक्षण को ऐसी श्रेणियां मानता है जिनमें चीनी क्षमता अभी सीमित है। 4

यही कारण है कि अगली बड़ी कसौटी फैब का भरोसा है। घरेलू विक्रेताओं का विदेशी प्रणालियों से बेंचमार्किंग करना महत्वपूर्ण कदम है, क्योंकि मानक अब सिर्फ इतना नहीं रह जाता कि “घरेलू विकल्प मौजूद है।” असली पैमाना अपटाइम, दोहराव-क्षमता, दोष-संवेदनशीलता, प्रक्रिया-विंडो, यील्ड पर प्रभाव और सेवा-सहायता में तुलनीय प्रदर्शन है। AI के लिए इस्तेमाल होने वाली उन्नत लॉजिक और मेमोरी चिपों में प्रक्रिया नियंत्रण की छोटी-सी कमी भी एचिंग या डिपोजिशन की प्रगति का लाभ मिटा सकती है। 4

संक्षेप में, CSEAC 2026 ने एक परिपक्व होते चीनी उपकरण क्षेत्र की तस्वीर पेश की: एचिंग और डिपोजिशन जैसे कई उच्च-मूल्य क्षेत्रों में वास्तविक प्रगति और कुछ पैमाने पर उत्पादन तैनाती दिखाई देती है। मगर यह अभी एंड-टू-एंड उन्नत-नोड टूलचेन नहीं है। सबसे महत्वपूर्ण अंतर केवल मशीन चलाने का नहीं, बल्कि उन्नत लॉजिक और मेमोरी के लिए आवश्यक सटीकता, विश्वसनीयता, मेट्रोलॉजी फीडबैक और फैब में सिद्ध यील्ड को दोहराने का है—वह भी कड़े निर्यात नियंत्रणों के माहौल में। 48