פריצת דרך בננו-החתמה: ייצור המוני של שבבים אופטיים על גבי פרוסות 8 אינץ' ללא ליתוגרפיית DUV

חברת הזנק מהאנגג'ואו הדגימה זה עתה נתיב לייצור המוני של שבבים מתקדמים, ללא תלות בציוד המפוקח ביותר בעולם השבבים. ב-5 ביוני 2026, חברת Prinano (璞璘科技) הודיעה כי אימתה ייצור ניתן להרחבה של פרוסות שבבים פוטוניים בגודל 8 אינץ', תוך שימוש בטכנולוגיית הטבעה מכנית שעוקפת לחלוטין את כלי הליתוגרפיה העמוקה באולטרה-סגול (DUV), הנשלטים על ידי ענקית הציוד ההולנדית ASML – וזאת בעלות המוערכת בכעשירית מהמקובל.

ההישג, שהושג בשותפות עם חברת Shenzhen Litra Technology, מהווה אבן דרך משמעותית הן עבור שאיפות השבבים של סין והן עבור המסחור הרחב יותר של ליתוגרפיית ננו-החתמה (Nanoimprint Lithography - NIL) כחלופה בת-קיימא לליתוגרפיה אופטית מסורתית עבור סוגי שבבים ספציפיים.

איך הטכנולוגיה עובדת: חותמת במקום מופע אורות

ליתוגרפיית DUV מסורתית פועלת כמו מקרן מתוחכם ביותר, המקרין אור מבעד למסכה בעלת דפוס (photomask) כדי לחרוט מעגלים על גבי פרוסות סיליקון. תהליך זה דורש מערך מורכב של רכיבים יקרים: לייזרי אקסימר, אופטיקת הקרנה מדויקת במיוחד ומערכות תאורה בוואקום אולטרה-סגול – כולם נתונים לפיקוח יצוא מחמיר מצד ארצות הברית.

הגישה של Prinano, העושה שימוש בציוד ה-NIL הקנייני שלה מסוג PL-AS הפועל בשיטת וואקום-לחץ, היא פשוטה הרבה יותר. התהליך פועל כך:

• הטבעה מכנית: תבנית מרוכבת (תבנית-אב) העשויה זכוכית קוורץ, ועליה חרוטים דפוסי מעגלים ננומטריים, נלחצת ישירות לתוך שכבת חומר