הספין-אוף של ASML, Invisix, מגייס 20 מיליון אירו כדי לפתור את הבעיה הקריטית ביותר בייצור שבבים

ככל ששבבי לוגיקה וזיכרון מתקדמים צוברים עוד ועוד שכבות במבנים תלת-ממדיים מורכבים, תעשיית השבבים נתקלת בבעיית ראות קריטית. כלי המדידה האופטיים המסורתיים כבר לא מסוגלים לראות את המאפיינים הננומטריים הקבורים עמוק בתוך השבב, אותם מאפיינים שקובעים את ביצועי השבב ואת אחוזי התפוקה (yield) בייצור. חברת אינוויזיקס (Invisix), ספין-אוף מ-ASML שהוקמה ב-2025, מאמינה שהפתרון טמון בקרני רנטגן רכות – והיא גייסה 20 מיליון אירו כדי להוכיח שזה אפשרי.

סבב הסיד, שהיה בביקוש יתר, אושר בתחילת יוני 2026 ומשך אליו סינדיקט משקיעים אסטרטגי במיוחד: Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co., ויצרנית שבבים מהדרג העליון ששמה לא פורסם [1, 3, 7]. הנוכחות של יצרנית שבבים מרכזית בטבלת ההון (cap table) מדגישה עד כמה דחוף הצורך של התעשייה בכלי מדידה חדשים, במיוחד כשהיא נעה לעבר צמתי ייצור של מתחת ל-2 ננומטר וארכיטקטורות טרנזיסטור מתקדמות כמו GAA (Gate-All-Around).

מי הקים את אינוויזיקס

החברה נוסדה על ידי שני פיזיקאים שהעבירו שנים בתוכניות המחקר המתקדמות של ASML. המנכ"לית כריסטינה פורטר (Christina Porter) והמנהל הטכני הראשי סייטסה ואן דר פוסט (Sietse van der Post), שניהם בעלי תואר דוקטור, עבדו על מחקר ופיתוח בתחום מטרולוגיית קרני הרנטגן הרכות זמן רב לפני שאינוויזיקס הפכה לחברה עצמאית [1, 3, 7]. אליהם הצטרפו ותיקים מתוכנית קרני הרנטגן הרכות של ASML, ורואלד דוחן (Roald Dogge), לשעבר סמנכ"ל התפעול של NTS, יצרנית קבלנית הולנדית גדולה בתחום המוליכים למחצה .

איך הטכנולוגיה עובדת

בלב הפלטפורמה של אינוויזיקס נמצא מקור אור של קרני רנטגן רכות המבוסס על טכניקת "יצירת הרמוניות גבוהות" (High Harmonic Generation - HHG), טכניקה שמקורה ישירות במחקר זוכה פרס נובל בפיזיקה לשנת 2023 על מדע האטו-שניות [1, 4, 6]. תאורה זו, בעלת אורך גל קצר ורוחב פס רחב, משולבת עם אלגוריתמים קנייניים לשחזור תמונה ולמידת מכונה, כדי לייצר הדמיות תלת-ממד לא הרסניות בקצב גבוה של המבנים הפנימיים ברכיב [1, 3, 4].

התועלת המעשית היא משמעותית. במקום שבו כלים אופטיים נתקלים במחסום רזולוציה, המערכת של אינוויזיקס שואפת למדוד ממדים קריטיים (CD), דיוק בשכבות (Overlay) ופרופילים של דפנות בתוך השכבות המורכבות ביותר של שבבי לוגיקה וזיכרון – כל זאת מבלי לפגוע בפרוסת הסיליקון (Wafer) [1, 3, 4].

למה סיפור הפיתוח חשוב כל כך

מה שמבדיל את אינוויזיקס מרוב סטארטאפי החומרה בשלב הסיד הוא העשור של עבודה שקדם להקמתה. טכנולוגיית הליבה פותחה בתוך ASML החל משנת 2015. כאשר אינוויזיקס יצאה לדרך עצמאית, היא קיבלה רישיון לחבילת טכנולוגיה משמעותית ישירות מ-ASML, המכסה שנים של תוצאות מחקר, ארכיטקטורת מערכת וקניין רוחני [3, 7, 8].

המנכ"לית כריסטינה פורטר תיארה את היתרון בצורה ישירה: "יצרני מוליכים למחצה לא יכולים לבנות את מה שהם לא יכולים לראות. [...] אנו נכנסים לשוק עם טכנולוגיה שפותחה בתוך ASML במשך יותר מעשור" . משמעות היוחסין הזה היא שאינוויזיקס מנסה למסחר טכנולוגיה שכבר הוכחה באחת מסביבות המו"פ התובעניות בעולם – רמה חריגה של הפחתת סיכון טכני לחברה בשלב הסיד [3, 7, 8].