Au cœur de la plateforme d'Invisix se trouve une source de lumière basée sur la génération d'harmoniques d'ordre élevé (High Harmonic Generation, HHG), une technique directement issue des travaux récompensés par le prix Nobel de physique 2023 sur la science attoseconde . Cette illumination à courte longueur d'onde est combinée à des algorithmes de reconstruction propriétaires et à l'apprentissage automatique pour produire des images 3D, à haut rendement et non destructives, des structures internes des dispositifs
.
L'avantage est concret. Là où les outils optiques atteignent leurs limites, le système d'Invisix vise à mesurer des dimensions critiques, l'alignement et les profils de flancs à l'intérieur des couches les plus complexes des puces logiques et mémoires, sans abîmer la plaquette de silicium . En clair, on pourrait voir ce qui se passe à l'intérieur sans avoir à découper la puce pour le découvrir.
Ce qui distingue fondamentalement Invisix de la plupart des start-ups hardware en phase d'amorçage, c'est l'héritage technologique dont elle dispose. La technologie de base a été incubée au sein d'ASML à partir de 2015. Lors de sa spin-off, Invisix a acquis sous licence un ensemble technologique substantiel directement auprès d'ASML, couvrant des années de résultats de recherche et de propriété intellectuelle .
Dans un communiqué, Christina Porter a résumé l'avantage sans détour : « Les fabricants de semi-conducteurs ne peuvent pas construire ce qu'ils ne voient pas. […] Nous entrons sur le marché avec une technologie qui a été incubée chez ASML pendant plus d’une décennie » . Cette filiation signifie qu'Invisix cherche à commercialiser une technologie qui a déjà été éprouvée dans l'un des environnements de R&D les plus exigeants au monde, un niveau de dérisquage technique inhabituel pour une entreprise à ce stade.
Invisix ne développe pas sa plateforme en solitaire. L'entreprise a déjà établi des collaborations de validation et de développement conjoint avec Intel et imec, deux acteurs placés à l'avant-garde du développement des procédés de semi-conducteurs de prochaine génération .
Les nouveaux fonds seront dirigés vers trois objectifs à court terme : étoffer l'équipe, accélérer la mise au point du premier système commercial livrable et soutenir les démonstrations pour les clients depuis une nouvelle salle blanche aménagée à Eindhoven . L'entreprise a indiqué que ses premiers outils étaient destinés à des environnements de production à grand volume, là où les problèmes de rendement sur les nœuds avancés représentent un risque financier considérable.
Pour une industrie qui s'engage dans la course aux transistors gate-all-around, aux réseaux d'alimentation par la face arrière et à l'empilement par collage hybride, la capacité à voir l'intérieur d'une puce sans la détruire devient rapidement une nécessité absolue. Le tour de table d'Invisix signale que les fabricants de puces et leurs écosystèmes d'équipementiers partagent le même constat sur cet angle mort, et qu'ils sont déjà prêts à financer les yeux de la prochaine génération.