ASML-Ausgründung Invisix sammelt 20 Mio. € ein: Blick ins Innere nächster Chip-Generationen

Während modernste Logik- und Speicherchips immer mehr Schichten zu komplexen dreidimensionalen Strukturen stapeln, ist die Halbleiterindustrie an einen kritischen Punkt gelangt: ein Sichtbarkeitsproblem. Herkömmliche optische Inspektionswerkzeuge scheitern zunehmend daran, die tief im Inneren vergrabenen, nanoskopischen Strukturen zu erkennen, die maßgeblich über Leistung und Produktionsausbeute entscheiden. Invisix, eine Ausgründung aus dem niederländischen Chipausrüster ASML aus dem Jahr 2025, glaubt, die Lösung in weicher Röntgenstrahlung gefunden zu haben – und hat sich nun 20 Millionen Euro gesichert, um dies zu beweisen.

Die überzeichnete Seed-Runde wurde Anfang Juni 2026 bestätigt und brachte ein strategisch bedeutendes Syndikat zusammen: Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co. sowie einen nicht namentlich genannten Tier-1-Chiphersteller . Dass sich ein führender Halbleiterproduzent direkt an der Finanzierungsrunde beteiligt, unterstreicht, wie dringend die Branche neue Mess- und Prüftechniken (Metrologie) benötigt, während sie auf Strukturbreiten von unter 2 Nanometern und neuartige Transistorarchitekturen wie Gate-All-Around (GAA) zusteuert.

Wer hinter Invisix steckt

Gegründet wurde das Unternehmen von zwei promovierten Physikerinnen und Physikern, die jahrelang in den fortschrittlichen Forschungsprogrammen von ASML gearbeitet haben. CEO Christina Porter und CTO Sietse van der Post forschten bereits lange vor der eigentlichen Firmengründung im Jahr 2025 an der Metrologie mit weicher Röntgenstrahlung . Unterstützt werden sie von weiteren erfahrenen Köpfen aus dem ASML-Programm für weiche Röntgenstrahlen sowie von Roald Dogge, dem ehemaligen COO von NTS, einem bedeutenden niederländischen Auftragsfertiger für die Halbleiterindustrie .

So funktioniert die Technologie

Das Herzstück der Invisix-Plattform ist eine Lichtquelle für weiche Röntgenstrahlung, die auf dem Prinzip der „High Harmonic Generation“ (HHG) basiert. Diese Technik steht in direkter Verbindung zum Physik-Nobelpreis 2023 für Attosekundenphysik . Die kurzwellige, breitbandige Beleuchtung wird mit proprietären Rekonstruktionsalgorithmen und maschinellem Lernen kombiniert, um zerstörungsfreie, hochauflösende 3D-Bilder der internen Bauelementstrukturen bei hohem Durchsatz zu erzeugen .

Der praktische Nutzen ist immens. Während optische Werkzeuge an ihre Auflösungsgrenze stoßen, zielt das System von Invisix darauf ab, kritische Abmessungen (CD), die Überlagerungsgenauigkeit (Overlay) und Seitenwandprofile in den anspruchsvollsten Schichten modernster Logik- und Speicherchips zu messen – und das, ohne den Wafer zu beschädigen .

Warum die Inkubationsgeschichte so bedeutsam ist

Was Invisix von den meisten Hardware-Startups in der Seed-Phase fundamental unterscheidet, ist die fast zehnjährige Vorgeschichte. Die Kerntechnologie wurde ab 2015 innerhalb von ASML entwickelt. Als sich Invisix als eigenständiges Unternehmen abspaltete, lizenzierte es ein umfangreiches Technologiepaket direkt von ASML, das jahrelange Forschungsergebnisse, Systemarchitekturen und geistiges Eigentum umfasst .

CEO Christina Porter brachte den Vorteil auf den Punkt: „Halbleiterhersteller können nicht bauen, was sie nicht sehen können. [...] Wir betreten den Markt mit einer Technologie, die mehr als ein Jahrzehnt innerhalb von ASML gereift ist“ . Diese Herkunft bedeutet, dass Invisix eine Technologie kommerzialisiert, die bereits in einer der anspruchsvollsten Forschungs- und Entwicklungsumgebungen der Welt validiert wurde – ein für ein Seed-Stage-Unternehmen außergewöhnliches Maß an technischer Reife und Risikominimierung .

Partnerschaften und kommerzielle Roadmap

Invisix entwickelt seine Plattform nicht im Alleingang. Das Unternehmen hat Validierungs- und gemeinsame Entwicklungskooperationen mit Intel und imec geschlossen, zwei Organisationen, die im Zentrum der Entwicklung von Halbleiterprozessen der nächsten Generation stehen .

Das frische Kapital soll in drei vorrangige Ziele fließen: das Team auszubauen, die Entwicklung des ersten kommerziell auslieferbaren Systems zu beschleunigen und Kundenvorführungen in einem neuen Reinraum in Eindhoven zu ermöglichen . Das Unternehmen hat signalisiert, dass seine ersten Werkzeuge für Umgebungen mit hohen Produktionsvolumina bestimmt sind, wo Ausbeuteprobleme bei fortschrittlichen Technologieknoten ein erhebliches finanzielles Risiko darstellen.

Für eine Branche, die mit Hochdruck an Gate-All-Around-Transistoren, Backside-Power-Delivery-Netzwerken und Hybrid-Bonding-Stacks arbeitet, wird die Fähigkeit, in einen Chip hineinzusehen, ohne ihn zu zerstören, schnell zur unabdingbaren Voraussetzung. Die Seed-Runde von Invisix signalisiert, dass Chiphersteller und ihre Zulieferer diesen toten Winkel ebenfalls erkannt haben – und bereits in die nächste Generation von „Augen“ für die Fertigung investieren.