Warum frühere US-Beamte einen Bann für ASMLs DUV-Anlagen in China fordern

Frühere US-Beamte fordern, den Verkauf und die Wartung von DUV-Immersionslithografieanlagen in China vollständig zu untersagen. Ihr Argument: Beschränkungen für neue Lieferungen ließen eine wichtige Lücke offen. Chinesische Chipproduzenten könnten weitere Anlagen beschaffen, und bereits installierte Systeme wären weiterhin auf Wartung und technischen Support angewiesen. Die Dringlichkeit begründen die Befürworter unter anderem mit einer Schätzung, wonach chinesische Chipfabriken bis Anfang 2026 insgesamt 343 DUV-Immersionssysteme angesammelt hatten – im Wert von Milliarden. Das ist eine Schätzung, kein öffentlich bestätigtes Inventar.3

Warum DUV-Anlagen wichtig sind

Die fortschrittlichsten Chips werden mit EUV-Lithografie hergestellt. China hat keinen Zugang zu solchen Anlagen. Das bedeutet jedoch nicht, dass dort keine vergleichsweise fortschrittlichen Chips produziert werden können: Mit DUV-Systemen und mehreren aufeinanderfolgenden Belichtungsschritten lassen sich auch Logikchips der 7-Nanometer-Klasse fertigen. Ein Bericht zur Technologie beschreibt, wie chinesische Hersteller solche Chips ohne EUV produzieren.15

Die Sorge der Befürworter ist, dass eine große Zahl bereits installierter DUV-Immersionssysteme eine umfangreichere Chipproduktion ermöglichen könnte – auch für Anwendungen im Bereich künstlicher Intelligenz. Deshalb steht die Bestandschätzung im Zentrum ihrer Argumentation: Ein Stopp zusätzlicher Käufe würde die Produktion womöglich nicht rasch bremsen, solange vorhandene Anlagen weiterlaufen können.315

Was ein vollständiges Verbot ändern würde

Die Niederlande verlangen bereits Exportgenehmigungen für bestimmte fortschrittliche Lithografieanlagen. Der vorgeschlagene Ansatz ginge weiter: Er würde den Verkauf von DUV-Immersionssystemen nach China landesweit einschränken und auch den Service für bereits eingesetzte Maschinen untersagen. Das wäre mehr als ein Verbot einzelner Lieferungen oder Beschränkungen für bestimmte, namentlich benannte Unternehmen.4

Der Service ist dabei entscheidend, weil ein Verkaufsverbot zunächst nur künftige Lieferungen betrifft. Ein Bericht über Chinas zwei führende Speicherchiphersteller besagt, dass deren eingelagerte Anlagen für drei Jahre geplanter Kapazitätserweiterungen ausreichen könnten. Diese Angabe bezieht sich auf die Pläne dieser Unternehmen und zeigt nicht, wie lange jede chinesische Chipfabrik ohne neue Anlagen oder Wartung weiterarbeiten könnte.19

Was der MATCH Act bewirken könnte – und was nicht

Der vorgeschlagene MATCH Act ist ein eigener gesetzgeberischer Weg, um Beschränkungen auszuweiten und die US-Regeln mit denen von Verbündeten wie den Niederlanden und Japan abzustimmen. Eine abgeschwächte Fassung des Entwurfs enthielt laut Reuters weiterhin eine landesweite Beschränkung für ASMLs DUV-Immersionsanlagen. Der Gesetzentwurf ist jedoch kein geltendes pauschales Verbot.12

Sollten Verbündete ihre Regeln nicht angleichen, könnte Washington versuchen, US-Exportkontrollen – darunter eine erweiterte Foreign Direct Product Rule – auf Anlagen mit US-Technologie anzuwenden. Das wäre ein vorgeschlagener Durchsetzungsweg. Es belegt nicht, dass die USA ohne niederländische Zustimmung automatisch ein umfassendes Serviceverbot für einen niederländischen Anbieter durchsetzen könnten.9

Folgen und offene Fragen

Ein Verbot könnte ASMLs Geschäft in China treffen. Die verfügbaren Umsatzangaben zeigen allerdings nicht, welche Folgen ein Serviceverbot für das Unternehmen oder Chinas Chipproduktion hätte. Auf China entfielen laut Berichten im ersten Quartal 2026 19 Prozent und im zweiten Quartal 14 Prozent von ASMLs Netto-Systemumsatz.58

Zugleich arbeitet China an eigenen DUV-Immersionsanlagen. Die vorliegenden Berichte beschreiben Fortschritte, lassen aber offen, wie schnell heimische Alternativen konkurrenzfähig werden.18 Die Unsicherheit wirkt in beide Richtungen: Eigene Anlagen könnten die Wirkung von Beschränkungen später abschwächen; kurzfristig könnte ein Verbot den Zugang zu importierten Systemen und deren Wartung dennoch erschweren.

Der Kern des Vorschlags lautet: Wenn die geschätzte Zahl vorhandener Anlagen stimmt und Service dazu beiträgt, sie einsatzfähig zu halten, reicht ein Verkaufsverbot möglicherweise nicht aus. Doch die Zahl ist kein bestätigtes Inventar, der MATCH Act ist nicht geltendes Recht, und weder heimische Alternativen noch ASMLs Umsatzanteil zeigen, wie schnell ein vollständiges Verbot Chinas Chipkapazitäten verändern würde.