Chinas Eigenbau-DUV-Lithografie: Was der Durchbruch für ASML, den MATCH Act und den Chip-Krieg bedeutet

Das heimische Immersions-DUV-Programm ist real, aber im Umfang noch sehr klein.

• Hersteller: Ein staatlich gestütztes Unternehmen mit Sitz in Shanghai, das in mehreren Berichten als Yuliangsheng Technology identifiziert wird, ein Startup mit Verbindungen zu Huawei und SiCarrier . Die Firma wurde von chinesischer Seite aufgrund der Sensibilität des Themas nicht offiziell benannt .
• Ausstoß: Das Unternehmen strebt für 2026 etwa 5 Einheiten und für 2027 etwa 20 Einheiten an .
• Erste Kunden: Die ersten Maschinen sollen an Chinas größte Foundry, SMIC, sowie an Hua Hong Semiconductor und den Speicherhersteller ChangXin Memory Technologies (CXMT) geliefert werden . SMIC begann bereits im September 2025 mit dem Test eines DUV-Werkzeugs von Yuliangsheng .
• Ziel-Knoten: Das Werkzeug ist für die 28nm-Fertigung ausgelegt. Mit Hilfe von Multi-Patterning-Techniken könnten theoretisch auch Chips auf dem 7nm- oder sogar 5nm-Knoten hergestellt werden, allerdings mit geringeren Ausbeuten und höheren Kosten .
• Leistungslücke: Die chinesische Maschine hinkt den etablierten Werkzeugen von ASML in puncto Leistung und Zuverlässigkeit noch hinterher und muss vor einem Einsatz in der Massenproduktion weiter getestet werden .

Zum Vergleich: ASML lieferte allein im Jahr 2025 131 Immersions-DUV-Systeme weltweit aus . Chinas Ziel von 5 bis 20 Eigenbau-Maschinen ist ein Bruchteil dieser Menge.

Unmittelbare Marktreaktion: Ein Stimmungsschock, keine Ertragsbedrohung

Die ASML-Aktie fiel am 27. Juli 2026 in Amsterdam um bis zu 6,5 % . Bloomberg-Daten zufolge verlor ASML an einem einzigen Handelstag mehr als 8 Milliarden Euro (8,7 Mrd. US-Dollar) an Börsenwert .

Der Ausverkauf war jedoch stimmungsgetrieben und keine Reaktion auf eine unmittelbare Bedrohung für die Einnahmen von ASML. Das chinesische Programm ist noch Jahre davon entfernt, nennenswerte Stückzahlen zu liefern, und die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit der Maschinen ist im großen Maßstab noch nicht bewiesen .

Chinas Bedeutung für den ASML-Umsatz

China bleibt ein wichtiger Markt für ASML, auch wenn sein Anteil sinkt.

• China wird laut CFO Roger Dassen im Jahr 2026 voraussichtlich rund 20 % zum Nettoumsatz von ASML beitragen . Bezogen auf die ASML-Prognose von 36 bis 40 Mrd. Euro für 2026 entspricht das etwa 7 bis 8 Mrd. Euro.
• In der ersten Jahreshälfte 2026 erwirtschaftete ASML mit 2,9 Mrd. Euro (3,3 Mrd. US-Dollar) in China etwa 16 % seines Gesamtumsatzes, was auf ein stärkeres zweites Halbjahr hindeutet .
• Im Jahr 2025 war China mit 33 % des Umsatzes (allein 36 % im vierten Quartal) ASMLs größter Einzelmarkt . Der Rückgang auf rund 20 % im Jahr 2026 war aufgrund früherer Exportbeschränkungen bereits in der Unternehmensprognose enthalten .
• Der China-Umsatz ist fast ausschließlich DUV-basiert und damit sowohl durch den MATCH Act als auch durch chinesische Eigenentwicklungen direkt gefährdet.

Entscheidend ist, dass etwa 75 % des inkrementellen Umsatzwachstums von ASML zwischen 2021 und 2024 auf China entfielen, während der Gesamtumsatz von 18 Mrd. auf 28 Mrd. Euro stieg .

Der MATCH Act: Eine kurzfristige regulatorische Bedrohung

Der „Machinery and Tools for Critical Hardware Act“ (MATCH Act) wurde im April 2026 von einer überparteilichen Gruppe von US-Abgeordneten eingebracht . Er stellt eine deutliche Verschärfung der Exportkontrollpolitik dar.

• Das Gesetz würde den Verkauf und die Wartung von DUV-Immersions-Lithografieausrüstung an chinesische Firmen verbieten und direkt Unternehmen wie SMIC, Hua Hong, Huawei und CXMT nennen .
• Es verlagert die Exportkontrollbefugnis von der Exekutive auf den Kongress, wodurch Beschränkungen schwerer durch Präsidentenerlasse rückgängig zu machen sind .
• Eine überarbeitete Fassung (16. April) schränkte das Gesetz ein, um es gezielter zu machen, verhängte aber dennoch neue Beschränkungen für ASMLs DUV-Immersionsverkäufe nach China .
• Stand 28. Juli 2026 hat der Auswärtige Ausschuss des Repräsentantenhauses den Gesetzentwurf beraten; er durchläuft den Kongress .
• Das chinesische Handelsministerium warnte, das Gesetz werde die globalen Halbleiter-Lieferketten „schwer stören“ .

Der MATCH Act zielt auf dasselbe Segment des ASML-Geschäfts ab, das das chinesische DUV-Programm zu ersetzen versucht. Sollte er verabschiedet werden, könnte er ASMLs verbleibende China-DUV-Einnahmen in Höhe von rund 7-8 Mrd. Euro abschneiden und auch die Wartung bereits installierter Maschinen verbieten .

Wie sich die beiden Entwicklungen überschneiden und verstärken

Der DUV-Durchbruch und der MATCH Act sind gegenseitig verstärkende Faktoren: Für China stärken sie das Argument der Selbstversorgung, für ASML bedeuten sie additiven Gegenwind:

Die Überschneidung ist bedeutsam, weil Chinas Eigenentwicklungen es für ASML und die niederländische Regierung schwieriger machen, gegen den MATCH Act zu argumentieren. Wenn China seine eigenen DUV-Maschinen bauen kann, wird das Argument der Befürworter des Gesetzes, dass Exportkontrollen sinnlos seien, stärker .

Fazit

Die ASML-Aktie erlitt aufgrund der Nachricht über den chinesischen DUV-Durchbruch einen Kursrutsch von rund 6,5 %. Das grundlegende Ertragsrisiko für ASML in den Jahren 2026–2027 geht jedoch immer noch in erster Linie vom MATCH Act (einer kurzfristigen regulatorischen Sperre für DUV-Verkäufe in Höhe von rund 7-8 Mrd. Euro) aus, nicht von den chinesischen Eigenbau-Maschinen (einer langfristigen Substitutionsbedrohung, die noch 1-2 Jahre von nennenswerten Stückzahlen entfernt ist) .

Die beiden Entwicklungen verstärken sich gegenseitig: Chinas Eigenentwicklungen schwächen ASMLs Verhandlungsposition gegenüber dem MATCH Act, während der MATCH Act im Falle seiner Verabschiedung Chinas Streben nach Autarkie beschleunigen würde, indem er den Zugang zu ASMLs fortschrittlichen DUV-Werkzeugen kappt.

Wichtige Einschränkungen:

• Die Ausbeute, Defektdichte und der Durchsatz des chinesischen Eigenbau-Werkzeugs sind noch nicht verifiziert .
• Berichte identifizieren Yuliangsheng als Hersteller, aber das Unternehmen wurde von chinesischer Seite nicht offiziell benannt .
• Die endgültige Form des MATCH Act und die Einhaltung durch die Niederlande sind noch ungewiss .