USA erhebt Vorwürfe: Hat ASMLs modernster EUV-Chipfertiger China erreicht?

Hier ist eine Zusammenfassung der Situation, Stand 19. Juni 2026.

Die US-Vorwürfe

US-Handelsminister Howard Lutnick hat in einer Reihe von Treffen direkt bei der Führungsspitze von ASML Bedenken geäußert, dass eine der fortschrittlichsten extremen Ultraviolett-Lithografie-Maschinen (EUV) des Unternehmens möglicherweise unter Verstoß gegen die von den USA angeführten Exportkontrollen nach China exportiert wurde . Konkret geht es um die Befürchtung, dass ein EUV-System – das über 400 Millionen Dollar pro Stück kostet und für die Herstellung modernster KI- und Smartphone-Prozessoren unerlässlich ist – physisch in China gelandet sein könnte .

ASMLs Dementi

ASML hat die Vorwürfe rundweg bestritten. Ein Unternehmenssprecher erklärte, ASML habe nie eine EUV-Maschine nach China geliefert . Das Unternehmen legte US-Behörden zudem Unterlagen vor, um sich zu entlasten, und wies darauf hin, dass EUV-Maschinen etwa so groß wie ein Schulbus sind, in sehr begrenzten Stückzahlen produziert werden, eine ständige Wartung vor Ort durch ASML-Mitarbeiter erfordern und bereits strengen Exportkontrollen unterliegen, die einen Verkauf nach China verbieten . ASML erklärte, man führe „regelmäßig einen transparenten und offenen Dialog mit Regierungsvertretern auf der ganzen Welt“ und halte sich sowohl an US-amerikanische als auch an niederländische Exportkontrollbestimmungen .

Die von US-Beamten genannten Beweise

Die konkreten Beweise, die den US-Bedenken zugrunde liegen, wurden nicht öffentlich gemacht. Bloomberg News, die die Geschichte veröffentlichte, berichtete unter Berufung auf „mit der Angelegenheit vertraute Personen“, beschrieb aber weder die Geheimdienstinformationen, Versandaufzeichnungen noch andere Belege, die Luttnicks Intervention auslösten . In der öffentlichen Berichterstattung gibt es keine bestätigte Sichtung eines EUV-Systems in China, keine abgefangenen Lieferungen und keine Service-Logs, die eine nicht genehmigte Installation belegen.

Der weitere Kontext könnte jedoch die Zweifel nähren. Im Dezember 2025 berichtete Reuters, dass chinesische Forscher in Shenzhen einen Prototypen einer EUV-Lithografiemaschine gebaut hätten – als Teil dessen, was als Chinas „Manhattan-Projekt“ bezeichnet wird, um dem Westen bei KI-Chips Konkurrenz zu machen . Zudem haben Analysten darauf hingewiesen, dass einige Dual-Use-Komponenten oder weniger streng kontrollierte Teile, die der heimischen EUV-Entwicklung dienen könnten, schwerer nachzuverfolgen sind . Ob diese Entwicklungen jedoch mit den aktuellen Vorwürfen zusammenhängen, ist nicht bestätigt.

Der MATCH Act: Verschärfung der Exportkontrollen

Der MATCH Act (Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware, H.R. 8170) ist ein von beiden Parteien unterstützter Gesetzesentwurf, der Anfang April 2026 im US-Repräsentantenhaus eingebracht wurde . Seine Kernbestimmungen:

• Landesweites Verbot des Verkaufs von „Nadelöhr“-Halbleiterfertigungsanlagen, darunter DUV-Immersion-Lithografiegeräte und kryogene Ätzgeräte, an jeden Standort in einem „betreffenden Land“ (womit direkt China gemeint ist) .
• Ultimatum an Verbündete: Die Niederlande und Japan sollen innerhalb von 150 Tagen ihre Exportbeschränkungen an die US-Regeln anpassen. Andernfalls droht eine einseitige US-Durchsetzung mittels einer erweiterten Foreign Direct Product Rule, die Washington die Kontrolle über alle Geräte mit US-Technologie geben würde .
• Wartungsverbot: Ein Verbot der Wartung bereits in China installierter DUV-Maschinen .

Der Gesetzesentwurf hat den Auswärtigen Ausschuss des Repräsentantenhauses bereits passiert und wird als Teil eines umfassenderen Pakets von Exportkontrollmaßnahmen vorangetrieben . Einige Bestimmungen wurden vor der Ausschussabstimmung abgeschwächt (z. B. das landesweite Verbot für kryogene Ätzgeräte), die DUV-Beschränkungen blieben jedoch bestehen .

Kurz gesagt zielt der MATCH Act darauf ab, die derzeitigen Exportkontrollen der Exekutive gesetzlich zu verankern und auszuweiten, die DUV-Lücke zu schließen und Verbündete unter Druck zu setzen, dies ebenfalls zu tun – und das alles vor dem Hintergrund, dass die neuen EUV-Vorwürfe zeigen, dass selbst die strengsten bestehenden Verbote mit Durchsetzungsproblemen kämpfen.