ASML-spinoff rejser 150 mio. kr. for at løse chipbranchens største blinde vinkel

Efterhånden som avancerede chips stables i stadig mere komplekse tredimensionelle strukturer, er halvlederindustrien løbet ind i et kritisk problem: Den kan ikke længere se, hvad der foregår. Traditionelle optiske inspektionsværktøjer kan ikke trænge ind til de nanoskala-features, der afgør en chips ydeevne og produktionsudbytte. Den hollandske startup Invisix, en spinoff fra ASML fra 2025, mener, at svaret ligger i bløde røntgenstråler – og har netop rejst 20 millioner euro (ca. 150 mio. kr.) for at bevise det.

Den overtegnede seed-runde blev bekræftet i starten af juni 2026 og tiltrak en strategisk vigtig investorkreds: Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co. og en “tier-1” chipfabrikant, hvis navn forbliver hemmeligt . At en stor chipspiller sidder med ved bordet, understreger, hvor presserende industrien har brug for nye metrologiværktøjer, når den bevæger sig mod sub-2nm-noder og transistorer med gate-all-around-arkitektur.

Holdet bag teknologien

Virksomheden er grundlagt af to fysikere, der har brugt årevis i ASML’s avancerede forskningsprogrammer. CEO Christina Porter og CTO Sietse van der Post, begge med en ph.d.-grad, arbejdede med blød røntgenmetrologi længe før Invisix blev et selvstændigt selskab i 2025 . De får følgeskab af veteraner fra ASML’s eget blød røntgen-program samt Roald Dogge, tidligere COO for NTS, en stor hollandsk kontraktproducent til halvlederindustrien .

Sådan virker teknologien

Hjertet i Invisix’ platform er en lyskilde til blød røntgen baseret på High Harmonic Generation (HHG), en teknik der bygger direkte på den forskning, der i 2023 modtog Nobelprisen i fysik for attosekund-fysik . Denne kortbølgede og bredbåndede belysning kombineres med proprietære rekonstruktionsalgoritmer og maskinlæring for at skabe ikke-destruktive 3D-billeder af chips’ indre strukturer i høj hastighed .

Den praktiske gevinst er betragtelig. Hvor optiske værktøjer møder en opløsningsmur, sigter Invisix’ system mod at måle kritiske dimensioner, overlay og sidevægsprofiler i de mest utilgængelige lag af avancerede chips – uden at beskadige den kostbare wafer .

En usædvanlig forhistorie

Det, der adskiller Invisix fra de fleste hardware-startups på seed-stadiet, er det årti af forskning, der gik forud for stiftelsen. Kerneteknologien blev udviklet og modnet internt hos ASML fra 2015 og frem. Da Invisix blev skilt ud, licenserede de en omfattende teknologipakke direkte fra ASML, der dækker års forskningsresultater, systemarkitektur og intellektuel ejendom .

CEO Christina Porter formulerede fordelen kontant: “Halvlederproducenter kan ikke bygge, hvad de ikke kan se. … Vi går på markedet med teknologi, der er blevet modnet internt hos ASML i mere end et årti” . Denne bagage betyder, at Invisix forsøger at kommercialisere teknologi, der allerede er bevist i et af verdens mest krævende forskningsmiljøer – et usædvanligt niveau af teknologisk afrisikering for en virksomhed på dette stadie .

Partnerskaber og den kommercielle tidsplan

Invisix udvikler ikke platformen i isolation. Virksomheden har etableret validerings- og joint development-samarbejder med Intel og imec, to af de absolutte frontløbere inden for udvikling af næste generations chipprocesser .

Den friske kapital skal kanaliseres ind i tre konkrete mål på kort sigt: at udvide teamet, accelerere udviklingen af det første kommercielle system, der kan sendes til kunder, og understøtte kundedemonstrationer fra et nyt renrumslaboratorium i Eindhoven . Virksomheden har indikeret, at de første værktøjer er målrettet højvolumen-produktionsmiljøer, hvor udbytteproblemer på avancerede noder udgør en enorm økonomisk risiko.

For en industri, der er i fuld gang med at bygge gate-all-around-transistorer, strømforsyningsnetværk på bagsiden af chippen og hybrid bonding-stakke, er evnen til at kigge ind i en chip uden at ødelægge den hurtigt ved at blive en absolut nødvendighed. Invisix’ seed-runde signalerer, at chipfabrikanterne og deres udstyrs-økosystemer ser den samme blinde vinkel – og allerede investerer i den næste generation af øjne.